金融界2024年12月10日音讯，国家知识产权局信息数据显现，株洲三一硅能技能有限公司获得一项名为“推舟设备和原子层堆积设备”的专利，授权公告号CN 222119382 U，请求日期为2023年12月。
专利摘要显现，本请求触及一种推舟设备和原子层堆积设备，触及薄膜堆积技能领域，该推舟设备包含底座、驱动件、托盘、支撑设备以及缓冲设备，驱动件设于底座上；托盘的一端与驱动件衔接；支撑设备与底座活动衔接，支撑设备用于支撑托盘远离驱动件的一端；缓冲设备与支撑设备衔接，缓冲设备坐落底座的下方；缓冲设备用于跟从支撑设备移动，并在支撑设备触摸托盘前，抵接底座的底部以减缓支撑设备朝托盘移动的速度该推舟设备和原子层堆积设备能减缓支撑设备对托盘的冲击。
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